分子泵过流
；し治涌熘泄鞅
；び牒憧煸诵兄泄鞅
；ち街智榭，应别离诊断：
（1）加快中过流
；
?可能情况：系统漏气、真空度较差
?检测步骤及建议：
?1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa
；
?2）用检漏仪对系统进行整机检漏，确保系统无漏
；
?3）确保系统漏率在允许领域内且前级优于10Pa后沉启分子泵。
（2）恒快运行中过流
；
?可能情况：分子泵运行中负载突变
?检测方式及建议：
?1）观察系统真空度变动过程
；
?2）若出现较显著变动（如10^-4Pa降至10^-1Pa），则会出现过流
；で榭。

分子泵在运行过程中必要进行冷却，分风冷和水冷两种。应别离诊断：
（1）水冷分子泵
???????? 可能情况1：水流量、水压、水温、环境温度异常
???????? 检测步骤及建议1：
???????? 1）查抄水流量是否大于1L/min，水压是否高于0.15MPa
；
???????? 2）水温是否低于25℃，环境温度是否低于40℃
；
???????? 3）上述前提如不满足，建议客户改善表部环境，从而保障设备正常运行。
???????? 可能情况2：分子泵水路梗塞
?????????检测步骤及建议2：
???????? 1）正常通水的情况下，将出水管拔出，查抄水流情况，判断梗塞的严沉水平
；
???????? 2）若属于通常梗塞（出水量约莫为进水量的1/2），建议增大水压或选取压缩空气冲刷水路
；
???????? 3）若属于沉度梗塞（出水量不及进水量的1/3）且冲刷无效，建议返厂维建。
???????? 可能情况3：热继电器败坏
???????? 检测步骤及建议3：
???????? 1）报警后，
；2～3幼时（维持冷却），用万用表丈量分子泵热继电器阻值
；
???????? 2）8芯产品丈量6、8脚，12芯产品丈量5、6脚，若继电器败坏，属于开路状态
；
???????? 3）热继电器败坏时，建议返厂维建。
（2）风冷分子泵
???????? 可能情况1：环境温度异常
???????? 检测步骤及建议1：
???????? 环境温度是否低于35℃，若不满足，建议用户改善表部环境，以保障分子泵正常运行
；
???????? 可能情况2：热继电器败坏
???????? 检测步骤及建议2：
???????? 1）报警后，
；2～3幼时，用万用表丈量热继电器器阻值
；
???????? 2）8芯产品丈量6、8脚，12芯产品丈量5、6脚，若继电器败坏，属于开路状态
；
???????? 3）热继电器败坏时，建议返厂维建。
???????? 可能情况3：电扇未运行、导线故障
???????? 检测步骤及建议3：
???????? 1）查看电扇能否正常运行，并凭据具体情况选择是否更换电扇
；
???????? 2）查抄电扇供电线是否有断路或许虚接，以保障供电正常。
???????? 可能情况4：节造器电扇插座无电压输出
???????? 检测步骤及建议4：
???????? 用万用表丈量电扇插座输出电压是否正常，并凭据具体情况进行建复。
???????? 可能情况5：电缆线故障
???????? 检测步骤及建议5：
???????? 丈量电缆线导线是否有虚接、断路等情况，并实时建复，而后即可正常使用。
???????? 可能情况6：节造器败坏
???????? 检测步骤及建议6：
???????? 1）将分子泵端电缆线与泵脱开，短接6、8脚（8芯泵）或5、6脚（12芯泵）
；?
???????? 2）关合节造器电源开关，若是节造器显示过热报警，建议返厂维建。

分子泵过载
；し治氐闫德使睾推渌德使乇
；ち秸徘榭，应别离诊断：
（1）特点频率过载
?????????可能情况：轴承败坏、叶片卡死、碎泵
?????????检测方式及建议：
?????????1）油光滑分子泵，光滑油短功夫变黑
；换油后短功夫再次变黑注明轴承败坏
；
?????????2）油光滑分子泵，动弹供油锥
；脂光滑分子泵动弹叶片，若是能够动弹但手脱离后顿时终场或有显著的迟滞景象，注明轴承败坏
；若是不能动弹，注明叶片卡死或碎泵
；
?????????3）上述情况，建议返厂维建。
（2）其它频率过载
???????? 可能情况1：分子泵加快中持久漏气，电流过大
???????? 检测步骤及建议1：
?????????1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa
；
?????????2）用检漏仪对系统进行整机检漏，确保系统漏率在允许领域内
；
?????????3）确保系统漏率在允许领域内且前级优于10Pa后沉启分子泵。
?????????可能情况2：前级真空度偏低
???????? 检测步骤及建议2：
?????????丈量分子泵前级口真空度，确保优于10Pa，并无漏气后，再次启动分子泵。
?????????可能情况3：前级阀败坏
???????? 检测步骤及建议3：
?????????取下前级阀进行检测，如败坏则更换。
???????? 可能情况4：电缆线故障
?????????检测步骤及建议4：
?????????丈量电缆线导线自身是否有虚接、断路等情况，并实时建复，而后正常启动分子泵。
???????? 可能情况5：节造法式问题
?????????检测步骤及建议5：
?????????查看节造器工作频率与所使用分子泵是否一致，若不匹配，建议将节造器返厂维建。

可能原因：光阑或镜筒受传染
（1）物镜光阑传染必要高温洗濯或更换
；
（2）镜筒传染严沉，必要洗濯
；
处置步骤：
（1）先调节物镜光阑杆更换光阑，调节消像散至图像清澈
；
（2）如上述步骤失效，注明镜筒传染，需进行守护保养，洗濯守护。
补充注明：
????? 通常情况下，电子束斑是圆形的，由于电子光学镜筒轻微传染或光阑传染，电子束斑呈椭圆形，消像散器用于建改这个椭圆形斑束。