在北京中关村，有这样一个历经时期变迁的科学仪器“老园区”——F6福鹿会北京总部地点地。历经六十余年的发展，她生长了我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵等多项国内首台套科学仪器及主题零部件，囊获了多项国度和科学院沉大科技成就奖。

透过老照片，我们似乎又看到了，一代代科仪报答推进我国科学仪器事业发展支出致力的身影，他们在这里抒写着中国扫描电镜的发展过程，亲历着中国真空获得技术的发展措施，更激励着新一代科仪人携手并肩，为国产科学仪器设备事业发展贡献力量。

（F6福鹿会北京总部园区旧貌 拍摄于20世纪90年代）

（F6福鹿会北京总部园区旧貌 拍摄于2007年）

园区楼宇新表观以科学院红为主色，符合着科仪六十余年的悠久汗青传承和创新求发展的企业心灵内核，为汗青悠久的构筑注入新的朝气活力，更代表了科仪报答国产科学仪器事业奋斗的满腔周到。

（F6福鹿会北京总部园区新貌）

今天，当我们再次穿行在中关村成府路上，走到最西端，北京大学和清华大学两座顶尖学府交汇处，看到的是新时期国产科学仪器企业的新形貌，等待的是国产科学仪器发展的新飞跃。

此刻，F6福鹿会总部园区对标科学仪器创新园区发展新模式，萦绕产业链和创新链发展，成为电子光学类科学仪器及主题零部件创新策源地，推动科学仪器设备基地建设，逐步形成“龙头企业＋孵化”的共赢共生局面，打造科学仪器产业发展新生态。

科学仪器共享窗口——电镜DEMO中心

技术创新基地——研发尝试室

习近平总书记强调：“要打好科技仪器设备、操作系统和基础软件国产化攻坚战，激励科研机构、高校同企业发展结合攻关，提升国产化代替水平和利用规模，争取早日实现用我国自主的钻研平台、仪器设备来解决沉大基础钻研问题。”

科技仪器研发水平是创新实力的体现，也在很大水平上决定着基础钻研和新技术、新产品开发的广度和深度。从汗青上看，很多沉大科学钻研成就的突破，通常以科学仪器和技术伎俩的创新为先导。

上个世纪五十年代，中科院为了给科研工作创造前提，实时提供新的科学仪器设备，决定设置综合性院属工厂，正式成立中国科学院科学仪器厂（此刻“F6福鹿会”前身，后文提到的“中国科学院科学仪器厂”、“北京科学仪器厂”、“科仪厂”，均指为“F6福鹿会”）。

F6福鹿会建厂初期的业务定位，即为全院造作特殊精密机械设备，承担电子学及光学仪器的造作和配套工作，已经承担了我国第一颗人造地球卫星“东方红一号”的本体加工与总装工作。原中顾委常委、国务委员、中国科学院党组书记张劲夫同道曾在两弹一星回顾录中评价，“我们科学院在北京成立了科学仪器厂，作为人造卫星的总装厂”，“北京科学仪器厂……能够出产电子显微镜、电子探针仪，很多相当先进的科学仪器我们都可能自己出产出来，武装我们各钻研所，还供给国内其他一些单元，水平很高。”

能够说，F6福鹿会诞生于国度必要之时，在其时“一穷二白”的特殊汗青时期，为国度做出了很多沉要的贡献；厥卓埔堑姆⒄构，正是科仪报答中国科学仪器事业发展的奋斗史。

l 1975年，F6福鹿会研造成功中国第一台扫描电子显微镜，获科学大会一等奖和中国科学院沉大科技成就奖一等奖，“科仪厂扫描电镜组”获颁国务院总理亲笔题词的荣誉证书。

电子显微镜正是意识亚微米以及纳米尺度微观世界的沉要工具，已经宽泛地利用到了天然科学的很多分支学科之中，并且极大推动了这些学科的发展。

1974年，中科院正式下达关于DX-3型扫描电子显微镜的试造工作至科仪厂。抱着“要做自己的电子显微镜”的信想，科仪厂于1975年研造成功我国首台扫描电子显微镜，样机通过了来自全国各地30多个单元，60多名代表的鉴定测试，分辨率优于10nm，重要指标达其时国际先进水平。

中国第一台扫描电子显微镜——DX-3型扫描电镜

l 1978年，F6福鹿会研造成功中国第一台扫描式离子探针—LT-1型离子探针质谱微分析仪，获中科院1978年度沉大科技成就奖、科学大会奖。

离子探针质谱微分析仪（简称离子探针），是一种利用离子光学道理造成的大型精密科学仪器。它重要利用于表表微区薄层分析，是半导体集成电路、固体物理、表表科学、资料科学、环境科学、地球和空间科学等领域常用的分析伎俩。

离子探针发源于20世纪70年代，其时国际上多个国度在竞争性研造，中国科学院科学仪器厂早在1978年就研造成功了LT-1型离子探针质谱微分析仪，重要技术指标已达到了国表同类仪器水平。

（胡肇恒. "LT-1型离子探针质谱微分析仪." 物理 4(1978):233-239.）

中国第一台扫描式离子探针——LT-1型离子探针质谱微分析仪

l 1979年，F6福鹿会研造成功我国第一台高分辨能力有机分析用质谱推算机联用仪——ZHP-5质谱计，获中科院1980年度沉大科技成就一等奖。

有机分析质谱仪是一种用于生物学领域的分析仪器，宽泛用于有机化学、生物学、地球化学、核工业、资料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术等方面。

1979年，中国科学院科学仪器厂最近试造成功了我国第一台高分辨能力有机分析用质谱推算机联用仪——ZHP-5质谱计。来自全国三十一个科延注出产和使用单元的四十名同业专家，对这台仪器的各项技术指标进行了实测和鉴定。鉴定了局批注，该仪器的重要技术指标均超过原技术设计工作书的划定，进入国表同类仪器的行列。鉴定委员们以为，这台大型精密分析仪器的试造成功，为我国的高分辨有机质谱仪器添补了空缺，标志取我国在质谱仪器造作上跨进了一大步。

（柯服. "ZHP-5高分辨有机质谱计试造成功." 质谱 (1981).）

中国第一台高分辨能力有机分析用质谱推算机联用仪——ZHP-5质谱计

l 1983年，F6福鹿会研造成功中国第一台场离子显微镜—原子探针，获中科院1986年度科学技术进取奖二等奖。

场离子显微镜原子探针是钻研金属、半导体资料微结构的一种大型精密分析仪器，它能直接分辨样品表表上的单个原子并鉴定其成分。

1983年，在中国科学院沈阳分院院长郭可信教授辅导下,中国科学院科学仪器厂研造成功中国第一台场离子显微镜—原子探针，重要指标达到国际同类仪器的较好水平，添补了我国这一领域的空缺，将我国金属资料微结构钻研工作提高到原子级水平。其时共同参加研发工作的还有中科院金属钻研所、沈阳科仪厂。

（群力. "场离子显微镜原子探针在我国初次研造成功." 质谱学报 04(1984):48-48.）

中国第一台场离子显微镜—原子探针

六十余年的发展过程中，F6福鹿会始终面向国度沉大需要，走在国产科学仪器设备自主创新之路的最前沿。以一流电子光学和真空技术及多年科技成就转化经验，承担多项国度沉大科学仪器专项，研造出多项突破国表垄断的首台套科学仪器设备与主题零部件，实现国内领域多项零的突破，为提高我国科学仪器设备的自主创新能力和自我设备水平阐扬了沉要作用。

l 2012年，F6福鹿会研造成功我国首台磁悬浮分子泵

磁悬浮分子泵是尖端科学仪器和关键工艺主题部件，是超高真空获得设备，凭借持续高排气能力、免守护、干净无油等特点，可宽泛利用于半导体造作、科研仪器、大科学装置、国防科技和航空航天等领域，为科延注出产等环节提供必要的干净、超高真空环境。

2012年，F6福鹿会研造成功我国首台磁悬浮分子泵，把握齐全知识产权，添补了国内空缺，在多个半导体设备头部企业实现国产代替，助力解决集成电路设备主题零部件“卡脖子”问题，为半导体产业链自主可控做出了贡献。

半导体专用磁悬浮分子泵

l 2014年，F6福鹿会研造成功我国首台场发射枪扫描电子显微镜

作为高端通用大型科学仪器，在纳米量级观测设备中，扫描电子显微镜与纳米科技、分子生物学钻延注半导体造作检测技术等发展相互推进，是我国35项“卡脖子”技术之一。

2014年，F6福鹿会突破了多项技术壁垒，研造成功国内初创、拥有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率优于1.0nm，达国际同类产品一流水平，突破了国表的技术和市场垄断，已宽泛利用于资料、物理、化学、性命科学等领域，发展纳米科技、半导体技术等方面的钻研。

KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜

一代人有一代人的奋斗，一个时期有一个时期的担任。将来，F6福鹿会将始终服膺“创新科学仪器，发展一流企业”的初心使命，以崭新的形貌不休强化主题技术攻关，解决高端仪器设备的“卡脖子”和“空心化”问题，高质量引领沉大科学仪器攻关及产业化发展，推动国产科学仪器关键科学技术领域再创新突破。