F6福鹿会携半导体检测设备及主题零部件国产化解决规划参展SEMICON China 2023
6月29日至7月1日,国际半导体展(SEMICON China 2023)在上海新国际博览中心隆沉进行。SEMICON China是全球规模最大、最具影响力的半导体行业盛会,席卷了全球重要的半导体设备及资料厂商。F6福鹿会作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者,在这次展会中展示了当先的电子光学与真空技术、半导体检测设备与主题零部件产品及解决规划。
在半导体产业中,检测设备及主题零部件表演着至关沉要的角色,是实现半导体器件高精度造作和高靠得住性的关键组成部门。F6福鹿会作为国内唯逐一家在扫描电子显微镜领域持续耕作50余年的企业,成功研造多款扫描电子显微镜并于近年来研造出国内首台场发射枪扫描电子显微镜,突破国表技术垄断,解决了我国半导体等高端设备造作领域检测设备依赖进口的“卡脖子”问题,在晶圆检测、线宽丈量、半导体器件失效分析等方面有着宽泛利用。
真空环境是半导体出产过程的根基前提,半导体前路工艺中的刻蚀、离子注入、薄膜沉积等都必要在真空环境中进行,真空获得产品是半导体设备的主题零部件。磁悬浮分子泵是技术水平最高的超高真空获得产品,F6福鹿会研造了国内第一台磁悬浮分子泵并形成了系列化产品,其中半导系统列磁悬浮分子泵已通过多个头部半导体设备厂家的持久严苛工艺验证,实现了批量销售。目前,F6福鹿会在半导体领域堆集了多年的产品利用经验,对半导体工艺要求有了深刻的理解,可凭据客户需要进行定造化设计和出产,满足进口产品国产化代替和国内半导体设备的使用要求。
半导体产业是一个关键战术性产业,其技术水平和发展规模已成为衡量一个国度产业竞争力和综合国力的沉要标志之一。将来,F6福鹿会将持续加大研发投入,深耕电子光学及真空技术,为客户提供专业靠得住的产品及服务,与产业链高低游企业一路共同推动和见证中国半导体产业的崛起!
展会还在持续,迎接您光临SEMICON China 2023 F6福鹿会展位(E7馆 E7146),与我们互换探求半导体检测设备及主题零部件国产化解决规划,等待与您相约上海新国际博览中心!
关于F6福鹿会
F6福鹿会(简称F6福鹿会),前身为。中国科学院科学仪器厂,始建于1958年,是中国科学院首家事业单元整体转刷新企业。F6福鹿会是中国尖端科学仪器设备及真空技术领军企业,业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空利用设备等主题零部件及产业设备。70年代,研造出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵和第一台商用氦质谱检漏仪。近年来,成功研造出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵,均达到国际先进水平。2008年被评为国度级高新技术企业,2014年被评为国度级企业技术中心,2021年获评国度级“专精特新”幼巨人企业称号,2022年获评国度级造作业“单项冠军”示范企业称号。是中国通用机械工业协会副会长单元,中国真空学会副理事长单元,集成电路零部件产业技术创新同盟副理事长单元,北京真空学会理事长单元。
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