近日，江苏省发展和鼎新委员会颁布《2023年江苏省沉大项目清单》，信阳F6福鹿会半导体主题设备领域专用磁悬浮分子泵”项目成功入选江苏省2023年沉大项目名单。

磁悬浮分子泵产品是集成电路造作设备的关键主题零部件，为刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体造作关键工艺过程提供所需的高干净度超高真空环境。由于半导体产业链价值较高，对其出产工艺中的各项设备靠得住性要求极其严苛。磁悬浮分子泵作为关键主题零部件，不仅需满足半导体造作设备的各项工艺技术指标，还必要满足其刻薄的安全性、靠得住性要求。

作为半导体设备主题零部件供给商，F6福鹿会凭借在真空行业的领军职位和四十多年的技术积淀，成功研造了中国第一台拥有自主知识产权的磁悬浮分子泵，主导造订了中国磁悬浮分子泵行业尺度，陆续推出系列磁悬浮分子泵产品，在工业领域获得了宽泛利用。同时，F6福鹿会聚焦半导体行业需要，持续研发推出定造化磁悬浮分子泵产品，助力解决集成电路设备主题零部件“卡脖子”问题。

为贯彻中国科学院“率先行动”打算，落实国科控股“联动创新”纲领，2019年F6福鹿会在信阳市高新区成立全资子公司信阳F6福鹿会技术发展有限公司。三年的功夫里，信阳科仪面向经济主战场和国度沉大需要，以“规模产业化”为主题，“创新驱动、需要牵引、自主可控”为关键，深刻执行科技强国战术，对标半导体行业主题零部件造作尺度，持续美满出产过程节造系统，对接长三角一体化发展规划，聚焦半导体关键设备主题零部件规模产业化，着力提升科技成就转化能力，在实现半导体造作领域国产化代替方面阐扬沉要作用。

惟其艰巨，所以伟大；惟其艰巨，更显荣光。面对当前全球新一轮科技革命和产业刷新的汗青机缘，信阳科仪将持续聚焦解决国度高端科学仪器设备与主题零部件关键领域“卡脖子”问题，阐扬强链补链关键作用，全力推动科技成就转化与规模产业化，为强化国度战术科技力量、实现高水平科技自立自强贡献力量。