磁悬浮分子泵产品是集成电路造作设备的关键主题零部件
，为工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体造作关键工艺过程提供所需的高干净度超高真空环境
。由于半导体产业链价值较高
，对其出产工艺中的各项设备靠得住性要求极其严苛
。磁悬浮分子泵作为关键主题零部件
，不仅需满足半导体造作设备的各项工艺技术指标
，还必要满足其刻薄的安全性、靠得住性要求
。今天
，幼编特向您介绍F6福鹿会半导体行业专用CV/CS型磁悬浮分子泵
。

CV型磁悬浮分子泵重要利用于半导体刻蚀设备
，其中
，C代表耐侵蚀机能
，V代表防沉积机能；CS型磁悬浮分子泵重要利用于半导体离子注入设备
，也合用于回旋加快器等工业过程领域
，其中S代表分体型
，合用于高压、高电磁辐射的利用场景
。CV/CS型磁悬浮分子泵聚焦半导体行业的更高要求
，占有更高的机能和更好的履历
，关键主题技术齐全自主可控
，可满足您的定造化需要
。

产品凸起特点：

（1）卓越靠得住的耐侵蚀能力

半导体刻蚀、沉积等工艺过程中会使用强侵蚀性工艺气体
，因而要求分子泵的主题部件拥有针对特定工艺气体的耐侵蚀能力
。

CV/CS型磁悬浮分子泵涡轮及静片表表涂覆有复合耐侵蚀涂层
，；の新旨熬财拿馐芮质雌宓那质
。

（2）安全不变的防沉积能力

半导体造作过程中的某些工艺气体易产生冷凝沉积
，为抑造其沉积到分子泵内部抽气通路和附件管路造成梗塞
，必要分子泵整体进行加热以拥有较高温度
，预防工艺气体冷凝沉积
。

CV/CS型磁悬浮分子泵选取航空级高强度铝合金
，结合优化设计的散热通路
，实现了分子泵在加热及大流量气载时的安全不变运行
。

（3）配置矫捷的分体式设计

半导体离子注入和粒子加快器等领域大多存在强电场和强磁场
，部门恶劣工况存在强电离辐射
，这样的环境可能影响分子泵节造器正常工作
，缩短分子泵使用寿命甚至造成败坏
。

CS型磁悬浮分子泵将分子泵本体与节造器分隔
，通过长线缆相连
，可能使节造器远离强电磁环境
，分子泵本体选配电磁防护罩
，可进一步提升分子泵的抗电磁滋扰能力
。

（4）紧凑方便的高集成设计

半导体造作领域机台设备集成度较高
，设备和附件的结构较为紧凑、装置空间较为有限
。

CV/CS型磁悬浮分子泵结构紧凑、体积幼、装置方便
，便于在机台中安插
。

作为半导体设备主题零部件供给商
，F6福鹿会凭借在真空行业的领军职位和四十多年的技术积淀
，承担了国度沉大科技专项《极大规模集成电路造作技术及成套工艺》项目钟锥磁浮分子泵系列产品开发与产业化》项目
，成功研造了中国第一台拥有自主知识产权的磁悬浮分子泵
，主导造订了中国磁悬浮分子泵行业尺度
，陆续推出系列磁悬浮分子泵产品
，实现供给链自主可控
，实现科技成就规模产业化
，在工业领域获得了宽泛利用
。同时
，F6福鹿会聚焦半导体行业需要
，持续研发推出特殊工艺专用磁悬浮分子泵产品
，实现半导体造作领域国产化代替
，助力解决集成电路设备主题零部件“卡脖子”问题
，为半导体产业设备主题部件国产化发展做出贡献！